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晶圓再生流程的問題，我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍，推薦財團法人中國生產力中心寫的 智慧製造轉型指引手冊 和林明獻 的 太陽電池技術入門(第五版)都 可以從中找到所需的評價。
另外網站PowerPoint 簡報 - 昇陽國際半導體也說明：晶圓再生. Wafer Materials. 晶圓薄化. Power Semi. 微機電. MEMS Sensor. • IC製造流程監控. • IC製造參數驗證. •生物晶片. •微機電麥克風. • 工業用功率元件.
這兩本書分別來自中國生產力中心 和全華圖書所出版 。
南臺科技大學 工業管理研究所 廖顯宗所指導 洪桂琳的 基於高加速壽命實驗(HALT)之改善生產現場方法 （2020），提出晶圓再生流程關鍵因素是什麼，來自於高加速壽命實驗。
而第二篇論文國立清華大學 工業工程與工程管理學系 許棟樑所指導 羅緯的 拋光機台投入效率標準制定 （2009），提出因為有 設備總體投入效率、化學機械研磨製程、人機配置、田口方法、逐步迴歸法的重點而找出了 晶圓再生流程的解答。
最後網站生产工序| Ferrotec全球則補充：Ferrotec的技术与产品在这些流程当中扮演着不可缺少的作用。 1单晶棒拉晶. 2硅锭切割. 3研磨. 4氧化·扩散. 5光刻胶涂布. 6光刻. 7腐蚀. 8离子注入. Array. 11晶圆测试.
智慧製造轉型指引手冊
為了解決晶圓再生流程 的問題，作者財團法人中國生產力中心 這樣論述：
本中心所推動的智慧製造發展方案，首重在企業現有問題的解決，以經營管理為主軸，找出企業現有的痛點，以精實管理（Lean Production）為基礎，使產線流程穩定與順暢，再運用IoT、SCADA、BI、Big Data、AOI、AI等ICT技術於製造活動端，逐步優化產線，達成智慧製造的最終目標，創造出企業最大的營運效益。 一、自我檢視數位轉型與智慧製造程度 二、確實掌握實現智慧製造的方法 三、漸進式推動導入重點與關鍵步驟 各界專家強力推薦 臺灣機械工業同業公會常務理事、中國砂輪企業股份有限公司副董事長 白文亮 流亞科技股份有限公司董事長 陳暐仁 國立
臺北科技大學工業工程與管理系教授 陳凱瀛
基於高加速壽命實驗(HALT)之改善生產現場方法
為了解決晶圓再生流程 的問題，作者洪桂琳 這樣論述：
致謝................................................................................................................................... i中文摘要 ........................................................................................................................ iiAbstract............................
............................................................................................... iii目錄 ............................................................................................................................... iv表目錄 ................................................................
........................................................... vi圖目錄 .......................................................................................................................... vii第一章 緒論 .....................................................................................................
............. 11.1 背景與動機 ............................................................................................................. 11.2 研究目的 ................................................................................................................. 21.3 研究範圍與限制 ............................
......................................................................... 21.4 研究流程 ................................................................................................................. 2第二章 文獻探討 ............................................................................................
.............. 42.1 晶圓再生流程 ......................................................................................................... 42.2 產線管理 ................................................................................................................. 62.3 高加速壽命實驗 ..............................
....................................................................... 72.4 特性要因圖 .............................................................................................................. 8第三章 研究方法 ................................................................................................
........ 103.1 實驗產線執行範圍設定 ....................................................................................... 103.2 實驗晶圓條件 ....................................................................................................... 113.3 高加速壽命實驗執行 .....................................................
...................................... 133.4 特性要因圖確認 ................................................................................................... 143.5 實驗流程管制 ....................................................................................................... 163.6 結果預測 ...................
............................................................................................ 17第四章 研究分析 ........................................................................................................ 184.1 高加速壽命實驗尋找問題 .........................................................................
.......... 184.2 特性要因圖解析 ................................................................................................... 194.3 改善項目總合結果 ............................................................................................... 294.4 實驗總結 .....................................................
........................................................ 31第五章 結論與建議 .................................................................................................... 355.1 結論.........................................................................................................................
355.2 建議......................................................................................................................... 36中文參考文獻 .............................................................................................................. 37中文網頁參考文獻 .......................................
............................................................... 38日文參考文獻 .............................................................................................................. 39日文網頁參考文獻 ...................................................................................................... 40
太陽電池技術入門(第五版)
為了解決晶圓再生流程 的問題，作者林明獻 這樣論述：
近年來，環保意識抬頭，全球皆積極研發使用潔淨的再生能源，以減輕傳統發電方式所產生之污染問題。使得太陽能產業得以被重視，也成為未來能源的趨勢。 本書作者以多年的經驗由淺入深的對於太陽能電池做詳細的解說，對於太陽光電產業與歷史演進及基本理論做簡單的介紹，使讀者有整體的概念，並分別針對多晶矽原料、單晶矽晶片和多晶矽晶片等原料之製造技術做介紹。對於所有矽基太陽電池的製造技術做說明，包含結晶矽太陽電池、薄膜型結晶矽太陽電池和非晶矽太陽電池等。本書對目前轉換效率最高並用在太空領域的太陽電池III-V族化合物太陽電池之製造技術 、 CdTe化合物太陽電池製造技術、CIS和CIG
S太陽電池製造技術、染料敏化太陽電池之製造技術，這些不同的太陽電池介紹其各有的特色。最後將太陽光電系統與應用做簡單的說明，使讀者可以融會貫通並應用於生活上。本書適用於從事太陽電池產業之工程人員及學術研究者所或是有興趣的人士閱讀。 本書特色 1.本書為一本介紹各種太陽電池之製造方法、原料製作及產品應用之入門參考書籍。 2.本書輔以生動的彩色插圖，可以幫助讀者對太陽電池製程與理論之理解與吸收程度。 3.本書不僅為從事太陽電池產業之工程人員及學術研究者所必備之參考書籍，且非常適合非理工背景之一般讀者之研讀。
拋光機台投入效率標準制定
為了解決晶圓再生流程 的問題，作者羅緯 這樣論述：
本研究針對拋光機的理想投入量制定其標準值，目的在於希望能夠測量設備的使用效率，而在投入面中，可將投入分為原材料、人力、廠務，以及耗材。我們對於拋光機的投入項目做分析並建立其理想之最小投入標準值，此標準將可被應用在量測拋光機之設備總體投入效率(OIE)，配合綜合設備效率(OEE)使用後更將可計算出機台之設備總體效率(TEE)。 人力投入效率方面，對於一機一線及多機一線的設備，我們建立一般性的模式以求得技術員之理想投入量。針對拋光機做研究後，發現其人力投入效率將有可能提升為兩倍。 研磨液投入方面，本研究成功的使用田口方法，以一個反向的方式，找出研磨液之最佳投入值並同時滿足設備
之目標產出量。本研究同時也對於其他投入項目，建立每單位晶圓之理想投入標準值。本研究使用的方法也將可應用在其他不同類型的設備機台，例如當完整的物理或化學公式為未知時，以理論方式計算其理想投入量是非常困難的，此時即可應用本研究的方法加以研究之。